-用于塑料薄膜微细结构复制
-行程:X-axis:14 mm; Z-axis:3540 mm; U-axis:350 mm
-分辨率:Linear
scales:< 0,1 nm; C-axis: < 2 x 10E-3“
-静油压轴承技术
-X轴小冲程范围
-自动刀具机械手
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