激光干涉仪系列

  • 6英寸平面激光干涉仪
6英寸平面激光干涉仪

6英寸平面激光干涉仪

  • – 斐索型激光干涉仪
    – 测量最大口径150mm
    – 测量参考物镜精度:λ/20
    – 三点铝合金支柱支撑结构,铝合金框架保护罩
    – 铝合金稳固底座,主动气浮隔振系统
    – 易装卸被测量零件:气浮导轨+可调倾斜台
    – 相移成像+全自动软件测量分析,或静态光圈分析软件


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