激光干涉仪系列

  • 4英寸球面/平面激光干涉仪
4英寸球面/平面激光干涉仪

4英寸球面/平面激光干涉仪

  • – 斐索型激光干涉仪,球面或平面测量
    – 测量最大口径100mm
    – 测量参考物镜精度:λ/10或λ/20
    – 结构紧凑,所占空间小
    – Z轴手动移动测量,行程500mm,带有精密水平与倾斜调节
    – 高精密Z轴测量光栅尺,用于曲率半径测量(可选)
    – 相移成像+全自动软件测量分析,或静态光圈分析软件